解決方案| 蘭寶特氟龍電容式傳感器液位檢測應(yīng)用分享
發(fā)布時間：
2023-05-30 15:51
來源：
硅片清洗設(shè)備是半導(dǎo)體制造過程中不可或缺的設(shè)備之一，它主要用于清洗硅片表面的雜質(zhì)和污染物，以確保硅片的質(zhì)量和穩(wěn)定性。在硅片清洗過程中，液位的控制是非常重要的，這是因為液位過低或過高都會影響清洗效果。為了解決這個問題，液位傳感器被廣泛應(yīng)用于硅片清洗設(shè)備中，主要用于液位高度的檢測，從而保證硅片的清洗效果和設(shè)備的正常運(yùn)行。
本文，我們將重點(diǎn)介紹下蘭寶特氟龍電容式傳感器CR18XT系列在液位檢測中的具體應(yīng)用以及產(chǎn)品特點(diǎn)。
IP67、外殼采用一體式PTFE 設(shè)計，液位檢測可靠穩(wěn)定
該款產(chǎn)品IP67防塵防水設(shè)計，可防止細(xì)微灰塵、雜質(zhì)，尤其是氣泡、水蒸氣等對產(chǎn)品性能的影響。同時外殼采用一體式PTFE 設(shè)計，具有防水防潮、耐油、耐化學(xué)腐蝕、電絕緣性好等特點(diǎn)，可以避免清洗液里的化學(xué)物質(zhì)對產(chǎn)品的破壞，不僅能夠?qū)崿F(xiàn)液位穩(wěn)定檢測，還能保證傳感器使用壽命。
檢測精度高，可實時監(jiān)測液位高度
該款產(chǎn)品檢測距離3~15mm可調(diào)節(jié)，重復(fù)誤差≤5%，將它安裝在清洗槽的側(cè)壁后，當(dāng)槽內(nèi)液位高度到達(dá)液位設(shè)定高度時，傳感器通過電場值的變化輸出液位信號，這時清洗液的供應(yīng)也會隨之停止，這樣既避免了清洗液的浪費(fèi)，也能更好地保證硅片清洗速度和清洗效果。
抗干擾能力強(qiáng)，滿足復(fù)雜工況需求
該款產(chǎn)品采用可靠的電路和工藝設(shè)計，擁有優(yōu)異的EMC性能，可避免電磁干擾對傳感器的影響，在變頻器、伺服電機(jī)等工況下具有良好的屏蔽功能，從而出色地完成檢測任務(wù)。
多重保護(hù)，使用更安心
該款產(chǎn)品采用短路、過載、逆極性等多種保護(hù)回路。當(dāng)發(fā)生短路時，可防止大電流通過，避免產(chǎn)品和負(fù)載受到損壞；當(dāng)設(shè)備出現(xiàn)過載情況時，過載保護(hù)會自動斷開電源，防止設(shè)備受到損害；當(dāng)電源正負(fù)極接反時，可通過逆極性保護(hù)回路避免產(chǎn)品燒壞，從而不負(fù)眾望，圓滿完成檢測任務(wù)。
除了上述特點(diǎn)外，該款傳感器還具有距離可調(diào)、耐高壓、絕緣阻抗等特點(diǎn)。它作為硅片清洗過程中的重要裝置，不僅可以減少人工干預(yù)和工作失誤，實現(xiàn)清洗液自動化控制，還可以保證硅片清洗的質(zhì)量。蘭寶傳感作為國內(nèi)先進(jìn)的工業(yè)傳感器及測控系統(tǒng)供應(yīng)商，專業(yè)從事傳感技術(shù)、傳感測控系統(tǒng)20余年，始終為客戶提供專業(yè)檢測方案，幫您解決項目檢測難題。
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