PSE背景抑制型傳感器放置于傳送帶的下方，用于檢測(cè)晶圓的通過(guò)，由于檢測(cè)物晶圓的顏色和反光率存在差異，常規(guī)的漫反射型傳感器無(wú)法實(shí)現(xiàn)可靠檢測(cè)。而PSE背景抑制型傳感器獨(dú)有的光學(xué)設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)使得產(chǎn)品不受熒光燈和外界環(huán)境光影響，可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定可靠檢測(cè)。
CCD線(xiàn)徑測(cè)量產(chǎn)品對(duì)晶圓邊緣進(jìn)行投影測(cè)量，通過(guò)檢測(cè)和測(cè)量目標(biāo)寬度和位置，從而來(lái)判斷晶圓邊緣是否完好無(wú)損。
通過(guò)PDA-CR系列傳感器對(duì)BGA和PGA系列芯片進(jìn)行測(cè)量，可以獲取球高，球徑和球位置等尺寸信息 同時(shí)精確檢測(cè)PGA針腳高度以及位置度。
白光共焦傳感器擁有對(duì)高鏡面反射材質(zhì)具有相當(dāng)穩(wěn)定的測(cè)量性能，且測(cè)量精度能達(dá)到亞微米級(jí)別。所以非常適用于晶圓芯片高度的的測(cè)量。
